ГОСТ Р 8.631—2007
В протокол также записывают значения общей длины видеопрофиля и электронно-оптического
увеличения РЭМ. определенных по 8.2.4а.
Протокол срезультатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки РЭМ.
(Измененная редакция. Изм. № 1).
9Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала
микроскопа
Для поверки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между кон
трольными точками, которое не зависит от эффективного диаметра электронного зонда при выполнении
условия по 7.3. Расположение контрольных точек 1— 4 на видеопрофиле информативного сигнала при
ведено на рисунке 16) и в).
Ординату контрольной точки 1 вычисляют как полусумму ординат точек первого и второго изломов
в направлении сканирования 0.5 Н, пиксель.
Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого
изломов в направлении сканирования 0.5 Н2 пиксель.
Ординату контрольной точки 3 вычисляют как полусумму ординат точек пятого и шестого изломов в
направлении сканирования 0.5 Н2 пиксель.
Ординату контрольной точки 4 вычисляют как полусумму ординат точек седьмого и восьмого изло
мов в направлении сканирования 0.5 Н, пиксель.
По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс кон
трольных точек 1— 4.
9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
Значения вспомогательных отрезков для низковольтных или высоковольтных РЭМ определяют по
значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по 9.1:
A
l
.A
r
— разность значений абсцисс второй и первой контрольных точек и четвертой и третьей кон
трольных точек соответственно в пикселях;
Dl , D
r
— разность значений абсцисс второго и первого изломов и восьмого и седьмого изломов на
видеопрофиле соответственно в пикселях.
9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ
Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, вычисляют по формуле
2а
т =
г» -
------------•
A
l
+ A
r
где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на
рельефную меру, нм;
А, . A
r
— расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2. пиксель.
9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ
Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ d, нм. вычисляют по формуле
^ _ m(Qi - P R)
2
где т — масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, им/пиксель;
Dl , D
r
— расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2. пиксель.
9.5 Погрешность измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по 9.3 и 9.4,
составляют:
- для масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т относительная погрешность изме
рения — не более ±1.0 %,
- для эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d абсолютные погрешности измерений в
зависимости от значений d приведены в таблице 2.
7