•■5 Требования к квалификации поверителей
Поверку РЭМ должны проводить штатные сотрудники мстратогмчес-
кой службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке
на право поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную
подготовку, опыт работы с РЭМ и знать требования настоящею стан
дарта».
Раздел 6 дополнить абзацем:
«Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям
труда в соответствии с требованиями трудового законодательства».
Пункт 7.1. Заменить значения: 220‘J j В на (220 ± 22) В. 50*10 Гц на
(50.0 ± 0.4) Ги.
Пункт 7.3. Первый абзац. Заменить слова: «включает в себя выполне
ние следующих работ» на «проводят следующим образом»:
шорой абзац посте слов «боковой грани» дополнить словом: «высту
па»;
последний абзац. Заменить слова: «и осушенною» на «сухого».
Пункт 8.1. После слов «При внешнем осмотре» дополнить словом:
«РЭМ».
Пункт 8.2.4. Заменить слова: «РЭМ и при этом на каждом этапе произ
водят» на «РЭМ. при этом на каждом этапе проводят*, «монитора мик
роскопа» на «РЭМ», «Схема наблюдаемых в режиме регистрации МВЭ
видсопрофилей» на «Схематическое изображение наблюдаемого в режи
ме регистрации МВЭ видеопрофили»;
примечание дополнить словами: «При этом значения проекций на
клонных стенок выступа AL. и ЛА.. измеренных по видеопрофилю, долж
ны быть нс менее 200 пикселей».
Раздел 8 дополнить пунктом — 8.2.4а (после пункта 8.2.4):
«8.2.4а Посте завершения операции настройки по 8.2.4 определяют
значение в пикселях обшей длины видеопрофиля в направлении скани
рования. Эго значение обшей длины видеопрофиля, а также установлен
ное при этом значение электронно-оптического увеличения РЭМ ука
зывают в протоколе поверки».
Пункт 8.4 дополнить словами и абзацем:
«В протокат также записывают значения обшей длины вилсопрофиля
и электронно-оптичсского увеличения РЭМ. определенных по 8.2.4а.
Протокол с результатами измерений датжен храниться как минимум
до следующей поверки РЭМ».
Раздел 9 дополнить пунктом — 9.5:
«9.5 Погрешность измерений
Погрешности измерений Метрологических характеристик микроско
па, вычисленных но 9.3 и 9.4. сосгаачякэт:
- для масштабною коэффициента видеоизображения РЭМ т относи
тельная погрешность измерения — не более ± 1,0 %.
11