ГОСТ Р 8.631—2007
и режимов работы осветительной системы РЭМ, юстировку электронного зонда РЭМ в режиме регистра
ции МВЭ. Ускоряющее напряжение должно обеспечивать необходимые условия функционирования
низковольтного или высоковольтного РЭМ.
8.2.3 При значениях электронно-оптического увеличения РЭМ от 20 до 100 определяют ту область
на рабочем столе РЭМ. где расположена рельефная мера.
8.2.4 Постепенно повышают электронно-оптическое увеличение РЭМ. при этом на каждом этапе
проводят фокусировку электронного зонда в соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ. Повы
шение электронно-оптического увеличения РЭМ прекращают при появлении на экране РЭМ видеоизоб
ражения выступа, который указан в паспорте (формуляре) рельефной меры в качестве исследуемого
элемента для поверки РЭМ. Схематическое изображение наблюдаемого в режиме регистрации МВЭ
видеопрофиля для выступа с трапецеидальным профилем, сечение которого изображено на рисун ке
1а). приведена на рисунке 1б) — для низковольтного РЭМ и на рисунке 1 в) — для высоковольтного РЭМ.
На рисунке 1 также приведены обозначения параметров, характеризующих геометрическую фор му и
размеры выступа.
П р и м е ч а н и е — Значение электронно-оптического увеличения РЭМ должно обеспечивать получение
изображений, которые позволяют определить значения параметров, приведенных на рисунке 16) и в).
При этом значения проекций наклонных стенок выступа AL иАк,измеренных по видеопрофилю, должны быть
не менее 200 пикселей.
8.2.4а После завершения операции настройки по 8.2.4 определяют значение в пикселях общей
длины видеопрофиля в направлении сканирования. Это значение общей длины видеопрофиля, а также
установленное при этом значение электронно-оптического увеличения РЭМ указывают в протоколе
поверки.
(Введен дополнительно, Изм. № 1).
8.2.5 Проверяют установку рельефной меры на рабочем столо РЭМ в соответствии с инструкцией
по его эксплуатации. При этом проверяют:
- параллельность вертикальной оси изображения относительно перпендикуляра к поверхности
рельефной меры. Для обеспечения параллельности поворачивают рельефную меру вокруг оси. перпен
дикулярной к плоскости ее поверхности, или осуществляют электронное вращение растра РЭМ. если
такая возможность предусмотрена конструкцией РЭМ;
- параллельность плоскости рельефной меры относительно направления строчной развертки
РЭМ. что подтверждается равенством отрезков DL и DR на видеопрофилях, приведенных на рисун ке
16) и в).
П р и м е ч а н и е — Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его
конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые прово
дят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма,
настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы и др. Поэтому для каждого конструктивного
исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую по
следовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.
8.2.6 Если после проверки по 8.2.5 не получены положительные результаты, то рельефную меру
перемещают на рабочем столе РЭМ по линии элемента рельефа на расстояние, соответствующее раз
меру изображения. После этого операции по 8.2.3— 8.2.5 повторяют.
П р и м е ч а н и е — Необходимость перемещения объекта характерна для РЭМ с паромасляной системой
откачки, в которых за время выполнения операций по 8.2.4 может произойти нарастание слоя загрязнений, искажа
ющего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот эффект
значительно слабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки к повер ке.
При оформлении результатов поверки делают запись о выполнении операций по 8.2.5 и 8.2.6.
8.3 Определение метрологических характеристик
В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого эле
мента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 16) и в).
8.4 Оф ормление протокола поверки
Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 1б) и в), оформляют
в виде протокола. Форма протокола — произвольная.
6