ГОСТ Р 8.631—2007
3.13
рельефная мора:
Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект,
линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологий
или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.14
рельефная мера нанометрового диапазона:
Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10_в м.
3.15
элемент рельефа в форме выступа (выступ):
Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.16
геометрическая форма элемента рельефа:
Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
П р и м е р — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется
трапецией.
3.17 электронный зонд (РЭМ):
Сфокусированный на поверхности объекта электронный пучок
РЭМ.
3.18
низковольтный растровый электронный микроскоп:
РЭМ. ускоряющее напряжение
которого не более 2 кВ.
3.19
высоковольтный растровый электронный микроскоп:
РЭМ. ускоряющее напряжение
которого не менее 15 кВ.
3.20
сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта):
Перемещение электронного зонда
вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновремен
ной регистрацией информативного сигнала.
3.21
медленные вторичные электроны;
МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в
результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превы
шает 50 эВ (* 8 10"18 Дж).
3.22
эффективный диаметр электронного зонда:
Значение величины, характеризующее попе
речный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой видео
сигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с веществом.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
4 Операции и средства поверки
4.1 При проведении первичной и периодических поверок РЭМ должны быть выполнены операции
и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
4.2 Допускается применять другие средства поверки, точность которых соответствует требовани
ям настоящего стандарта.
Т а б л и ц а 1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование операции
Номер пункта
настоящего
стандарта
Наименование средства поверки и его основные
технические и метрологические характеристики
Внешний осмотр
8.1
-
Опробование
8.2
Рельефнаямера,изготовленнаяпо
ГОСТ Р 8.628 и поверенная по ГОСТ Р 8.629
Определение метрологических характеристик
8.3
То же
(Измененная редакция, Изм. Ns 1).
3