ГОСТ Р 8.636— 2007
рисунке16)или в). Приэтом значения проекций наклонныхстеноквыступаAL.Ar .измеренныхпо видео
профилю.должны быть не менее 200 пикселей.
8 Процедура проведения измерений
8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого
элемента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 16) ив).
8.2 Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 16) и в), офор
мляют в виде протокола калибровки. Форма протокола- произвольная. Протокол срезультатами калиб
ровки должен храниться какминимумдо следующей калибровки РЭМ.
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала
микроскопа
Для калибровки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между кон
трольнымиточками, которое не зависитотэффективногодиаметраэлектронногозондапри выполнении
условия по 7.7.
Расположение контрольных точек 1— 4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на
рисунке 16) ив).
Ординатуконтрольной точки 1вычисляют какполусуммуординатточекпервогои второго изломов
в направлении сканирования 0.5 W, в пикселях.
Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого
изломов в направлении сканирования 0.5 Н2в пикселях.
Ординатуконтрольной точки3вычисляют какполусуммуординатточекпятого ишестогоизломовв
направлениисканирования 0.5Н2в пикселях.
Ординатуконтрольной точки 4 вычисляюткак полусумму ординатточек седьмого ивосьмогоизло
мов в направлении сканирования 0.5 Н, в пикселях.
По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс кон
трольныхточек 1— 4.
9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
Значения вспомогательныхотрезковдля низковольтныхили высоковольтныхРЭМ определяютпо
значениям абсцисс контрольныхточек, вычисленных по9.1:
A
l
.A
r
— разностьзначенийабсциссвторойипервой контрольныхточекичетвертойитретьейкон
трольных точек соответственно в пикселях;
Dl,D
r
— разность значенийабсциссвторогоипервогоизломовивосьмогоиседьмого изломов на
видеопрофиле соответственнов пикселях.
9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ
Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель,вычисляют поформуле
2а
т =
---------
.
a l
+
гдеа — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре)на
рельефную меру, нм;
Al.A
r
— расстояния между контрольными точками, вычисленные по9.2. пиксель.
9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ
Эффективныйдиаметрэлектронного зонда РЭМ d,нм. вычисляют поформуле
Ql- л?(Рс +Од)
2
гдет — масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по9.3, нм/пиксель;
Dl.D
r
— расстояния между контрольными точками, вычисленные по9.2, пиксель.
10 Оценка неопределенности измерений параметров
10.1Суммарную стандартную неопределенность ис (т). нм/пиксель. измерения масштабного
коэффициента видеоизображения РЭМ л?вычисляют по формуле
6