ГОСТ Р 8.636— 2007
УДК 531.711.7.089: 006.354ОКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, растровые электронные микрос
копы. методика калибровки
Редактор Г.А. Леонова
Технический редактор Л А . Гусева
Корректор М.8. Бучнан
Компьютерная ворстка А.Н. Золот аревой
Сдано в набор 03.12.2007.Подписано в печать 16.01.2008.Формат 60 х 84Бумага офсетная.Гарнитура Ариал.
Печать офсетная. Уел. печ. п. 1.40Уч.-иэд. л. 1.00.Тираж 376 экэ.Зак. 7.
Ф ГУП «СТАН Д АРТИ И Ф О РМ », 123995 Москва. Гранатный пер., 4
www.gostmio.ru
т ’о @ gostinfo.ru
Набрано во Ф ГУП «СТ АН Д А РТ И И Ф О РМ . на П ЭВМ .
Отпечатано а ф илиале Ф ГУП «СТАН Д АРТИ Н Ф О РМ » — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер .6.
ГОСТ Р 8.636-200
7