ГОСТ Р 8.636— 2007
- извлекаютрельефную меруиз футляра иосматриваютеедля выявления внешнихповреждений
(царапин, сколов и других дефектов) изагрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от
частицпыли струей очищенного и осушенного воздуха.
7.2 Выполняют операции, необходимые для подготовки РЭМ кработе, в соответствии с требова
ниями инструкции по его эксплуатации. При этом проводят внешний осмотр РЭМ, в процессе которого
должно бытьустановлено:
- соответствие комплекта поставки РЭМ данным, приведенным в паспорте (формуляре);
- отсутствие механических повреждений всех составныхчастей РЭМ;
- отсутствие механических поврежденийсоединительных кабелей исетевых разъемов:
- наличие маркировки на РЭМ и ее соответствиеданным, приведенным в паспорте (формуляре).
7.3 Устанавливают рельефную меру на рабочий стол РЭМ.
7.4 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ проводят подготовительные операции,
которые включают в себя откачку воздуха из камеры образцов, установку ускоряющего напряжения и
режимов работы осветительной системы, юстировку электронного зонда в режиме регистрации МВЭ.
Ускоряющее напряжениедолжнообеспечиватьтребуемые условия функционирования какнизковольт
ного, такивысоковольтного РЭМ.
7.5 При значениях электронно-оптического увеличения РЭМ от 20 до 100 определяют ту область
на рабочем столе РЭМ, гдерасположена рельефная мера.
7.6 Постепенно повышают электронно-оптическое увеличение РЭМ и при этом на каждом этапе
проводят фокусировку электронного зонда в соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ. Повы
шение электронно-оптического увеличения РЭМ прекращают при появлении на экране монитора мик
роскопа видеоизображения выступа, который указан в паспорте (формуляре) рельефной меры в
качестве исследуемого элемента для калибровки РЭМ. Схематическое изображение наблюдаемого в
режимерегистрации МВЭ видеопрофилядля выступа с трапецеидальным профилем, сечение которого
изображено на рисунке 1а),приведенонарисунке 1б) — для низковольтногоРЭМ инарисунке 1в) — для
высоковольтного РЭМ. На рисунке 1 также приведены обозначения параметров, характеризующих
геометрическуюформу иразмеры выступа.
П р и м е ч а н и е — Значение электронно-оптического увеличения РЭМ должно обеспечивать получение
изображений, которые позволяют определить значения параметров, приведенных на рисунке 16} и в).
7.7 Проверяют установку рельефной меры на рабочем столе РЭМ в соответствии с инструкцией
по егоэксплуатации. Приэтом проверяют:
- параллельность вертикальной оси изображения относительно перпендикуляра к поверхности
рельефной меры. Дляобеспечения параллельностиповорачиваютрельефную мерувокруг оси, перпен
дикулярной кплоскости ее поверхности, или осуществляют электронное вращение растра РЭМ. если
такая возможностьпредусмотрена конструкцией РЭМ;
- параллельностьплоскости рельефноймерыотносительнонаправлениястрочнойразверткиРЭМ,
что подтверждается равенством отрезков DLиDR на видеопрофилях, приведенныхна рисунке 16) ив).
П р и м е ч а н и е — Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его
конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые прово
дят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма,
настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы идр. Поэтомудля каждого конструктивного
исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую
последовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.
7.8 Если после проверки по 7.7 не получены положительные результаты, то рельефную меру
перемещаютна рабочем столе РЭМ полинии элемента рельефа на расстояние, соответствующее раз
меру изображения. После этогооперации по 7.4 — 7.7 повторяют.
П р и м е ч а н и е — Необходимость перемещения рельефной меры характерна для РЭМ с паромасляной
системой откачки, в которых за время выполнения операций по 7.6 может произойти нарастание слоя загрязнений,
искажающего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот
эффект значительнослабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки
РЭМ ккалибровке. В протокола с результатами калибровки делают запись о выполнении операций по 7.7 и 7.8.
7.9 Настраивают видео контрольноеустройство РЭМ таким образом, чтобы число пикселей в направ
лении сканирования былодостаточным длятого,чтобыможнобылопренебречь значениемнеопределеннос
ти, обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором соответствующих размеров
изображения в пикселяхиэлектронно-оптическогоувеличения микроскопа.Выборувеличения осуществляют
таким образом, чтобы видеопрофиль элемента, изображенного на рисунке 1а). имел вид, приведенный на
5