ГОСТ Р 8.636— 2007
3.2 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела,
отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной
обработкой.
3.3 эломент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная
часть рельефа поверхности.
3.4
3.8 пиксель: Наименьшийдискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение): Изображениена экранемони
тора РЭМ в виде матрицы из п строкпо т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна
значениюсигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюда
теля.
3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость
значения информативногосигнала, поступающегосдетектора микроскопа, от номера пикселя в данной
строке видеоизображения.
3.11 масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ (масштабный коэффициент):
Отношение значения длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений кчислу пикселей
этого элементана видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого РЭМ.
3.12 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект,
линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представлять собой специально обработанный обьект естественного происхождения.
3.13 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которыхменее 10”вм.
3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающихкнему областей.
3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется
трапецией.
3.16 электронный зонд РЭМ (электронный зонд): Сфокусированный на поверхности объекта
электронный пучок РЭМ.
2