ГОСТ Р 8.636—2007
- выбираютнеобходимуюдлякалибровкиРЭМ рельефнуюмеругю4.2.1.сечениевыступакоторой
приведенонарисунке 1а).В качествеисследуемогоэлементаиспользуютвыступ.длякоторогов паспор
те(формуляре)на меруприведенозначениепроекциибоковойграни наплоскостьнижнего основания а.
й)С *П —1m ftyna
рельефнойморы
па ГЭСТР&828
б)ЕЦцййпрОфмль
ВЬФУПЙ рельефной меры
■мвонольтномРЭИ
в) ЕЦдеолрофиль
аитуш рельефнойноры
■миопоштнам РЭМ
X — ось значении координаты электронного зонда в направлении сканирования в пикселях; Y — ось значений информативного
сигнала в пикселях
Рисунок 1 — Сечение выступа рельефной меры и его видеопрофили, полученные с помощью РЭМ различных
типов
В зависимости от ожидаемогозначения эффективногодиаметра электронного зонда РЭМ dиспользуют
рельефную меру, для которой
- проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельеф
ной меры, на отсутствие механических повреждений;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной мерыданным, приведенным в
паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- выдерживаютвыбранныйэкземпляррельефной меры в помещении, где будет проведена калиб
ровка РЭМ. не менее 24 ч;
4