ГОСТ Р 8.636— 2007
и (т) = ’j4u2(a) + m 2(u2(AL )+ u 2{AR))
Л. + A
r
где и(а) — стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приве
денная в паспорте (формуляре)на рельефную меру, нм;
т — масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3. нм/пиксель;
u(AJ.
u
(Ar) — стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа по ви
деопрофилю, пиксель;
Al,Ай — расстояния между контрольными точками, вычисленные ло9.2, пиксель.
П р и м е ч а н и е — Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность
измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление
и(а)
осуществляют по (6). При равномерном кванто
вании видеосигнала значения
u(AL)
и
u(AR)
принимают равными 0.5 пиксель.
10.2Суммарную стандартную неопределенность uc(d), нм. измерения эффективного диаметра
электронного зонда РЭМ d,вычисляют по формуле
r
uc(d) =- D 2 )u2(m) + 2m2(u2(DL )+ u2(DR )),
гдеDl.D
r
— расстояния между контрольнымиточками, вычисленные по9.2, пиксель;
ис(т) — суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента
видеоизображения РЭМ, вычисленная по 10.1. нм/пиксель;
т — масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ. вычисленный по9.3. нм/пиксель;
u(DJ.
u
(Dr) — стандартные неопределенности измерений расстояний между контрольными точками.
П р и м е ч а н и е — При равномерном квантовании видеосигнала значения и(D J и u(DR) принимают рав
ными 0,5 пиксель.
11 Оформление результатов калибровки
11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата о калибровке установленной фор
мы [7]ссоответствующей записью обэтом в паспорте(формуляре)на РЭМ и удостоверяюткалибровоч
ным знаком, наносимым на РЭМ.
11.2 В сертификате о калибровке и в паспорте (формуляре) на РЭМ должны быть приведены зна
чения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т иэффективногодиаметра электронного
зонда РЭМ d.Для перечисленных метрологических характеристик РЭМ необходимо также указать зна
чения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.
Библиография
(1) ПР 50.2.018— 95 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аккредита
ции метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровоч-
ных работ
(2) Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России
от 13.01.2003 г. № 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г., per. № 4145)
(3) ПОТРМ-016— 2001
Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуата
ции электроустановок
Электромагнитные поля а производственных условиях
Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным маши
нам и организации работы
РД 153.34.0-03.150— 00
(4) Санитарно-эпидемио
логические правила
и нормативы
СанПиН 2.2.4.1191— 03
(5) Санитарно-эпидемиоло
гические правила и нор-
мативы
СанПиН 2.2.2/2.4.1340— 03
(6] РМ Г43— 2001
Государственная система обеспечения единства измерений. Применение «Руко
водства по выражению неопределенности измерений*
единства измерений. Требования к
(7) ПР 50.2.018— 94Государственная система обеспечения
выполнению калибровочных работ
7