ГОСТ Р 8.636— 2007
3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ. ускоряющее напряжение
которого неболее 2 кВ.
3.18 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ. ускоряющее напряжение
которого не менее 15 кВ.
3.19 сканирование РЭМ элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение
электронногозондавдоль выбранногоотрезка исследуемогообъектаспомощьюотклоняющейсистемы
РЭМ с одновременной регистрацией информативногосигнала.
3.20 медленные вторичные электроны: МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в
результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превы
шает50 эВ(*8-10"18Дж).
3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значение величины, характеризующей попе
речный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой видео
сигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с веществом.
4 Технические требования
4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе
калибровки
4.1.1 Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видео
изображения РЭМ тдолжна бытьне более 0.01 нм/пиксель.
4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного диаметра электрон
ного зонда РЭМ dдолжна быть неболее 1нм.
4.2 Требования к средству калибровки
4.2.1 Калибровку РЭМ проводят с помощью рельефной меры нанометрового диапазона
(далее — рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628и поверенной по ГОСТ Р 8.629.
4.2.2 Допускается применятьдругиесредства калибровки, точностькоторыхсоответствуеттребо
ваниям настоящегостандарта.
4.3 Требования к условиям проведения калибровки
4.3.1 Калибровку РЭМ проводят в следующихусловиях:
- температура окружающей среды.................(20i3)°C;
- относительная влажность воздуха
..............
не более 80 %;
- атмосферноедавление.............................(100±4)кПа;
- напряжение питающей сети....................... 220’” ;
- частота питающейсети.............................50*,оГц.
4.3.2Помещение (зона), гдеразмещен РЭМ исредства егокалибровки, должнобытьв эксплуати
руемомсостояниииобеспечиватьклассчистоты не более класса8 ИСО по взвешенным в воздухечасти
цам размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность
контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р И С 014644-2. Эксплуатацию помещения
(зоны)осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
5 Требования к квалификации калибровщиков
Калибровку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологических служб предприятий,
аккредитованныхв установленномпорядкенапроведениекалибровочных работпо[1].Сотрудникидол
жны быть профессионально подготовлены, иметь опыт работы с РЭМ изнать требования настоящего
стандарта. Рабочие места калибровщиковдолжны бытьаттестованы поусловиям трудав соответствии с
требованиями трудового законодательства.
6 Требования по обеспечению безопасности
ПрипроведениикалибровкиРЭМ необходимособлюдатьправила электробезопасностипо [2],[3]и
требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061. [4].[5].
7 Подготовка кпроцедуре калибровки
7.1 Подготовку кпроцедуре калибровки РЭМ проводятследующим образом:
з