ГОСТ Р 8.636— 2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика калибровки
Slate system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Methods for calibration
Дата введения — 2008— 08— 01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемыедля измеренийлинейныхразмеров в диапазонеот 10~9до 10 _бм.иустанавливаетмето
дику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования кгеометрическим фор
мам, линейным размерам ивыбору материаладля изготовления
ГОСТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-Г
ГОСТ Р ИСО 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности крабочим местам
ГОСТ И С 014644-1— 2002 Чистые помещения исвязанныес ними контролируемыесреды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующиетермины ссоответствующими определениями.
3.1_________________________________________________________________________________________
растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображе
ние объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
(ГОСТ 21006— 75, статья3)
’ ГОСТ Р ИСО 14644-1— 2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1— 2002.
Издание официальное
1