ГОСТ Р 55723-2013/ISO/TS 12805:2011
Продолжение таблицы В.2
ХарактеристикаМетод
Краткое описание метода
Порядковый
помер
2.13
МорфологияACM
поверхности
.
СМБП
СТМ
Приборы ACM формируют изображение
образца в процессе сканирования, регистрируя
силы взаимодействия зондового датчика (кан
тилевера) с поверхностью образца.
Острие (с вершиной диаметром 10 им) зон
да перемещают вдоль поверхности образца
вверх и вниз (в направлении оси z) и регистри
руют силовое взаимодействие между поверх
ностью исследуемого образца н зондом. Вы
полнив три таких движения, получают топо
графическое изображение исследуемой по
верхности. ACM позволяет в направлении оси
7
непосредственно измерять высоту, объем и
шероховатость поверхности образца
С помощью С’МБП получают информацию
о локальных оптических характеристиках об
разца за счет взаимодействия электромагнит
ного поля между образцом и оптическим зон
дом, сканирующим его поверхность.
Оптиче ским зондом служит заостренный
световод с радиусом закругления на конце
менее длины световой волны или световод,
покрытый не прозрачным для светового
излучения слоем, имеющим на конце
диафрагму, диаметром ме нее длины световой
волны. При проведении измерений зонд
размещен близко к поверхно сти образца, что
позволяет выполнять анализ его поверхности с
высоким пространственным разрешением
СТМ позволяет получать информацию о
плотности состояний атомов поверхности об
разца с помощью проводящего зонда.
Напряжение подают между острием зонда и
образцом и измеряют туннельный ток. Зонд
перемещают вдоль поверхности образца, фор
мируя растр. Зонд двигается вверх и вниз в со
ответствии с рельефом поверхности благодаря
механизму обратной связи, который улавлива
ет начинающееся изменение туннельного тока и
изменяет напряжение, прикладываемое к ма
нипулятору, который передвигает зонд по вер
тикали таким образом, чтобы значение тун
нельного тока не менялось, т. е. чтобы зазор
между зондом и объектом оставался постоян
ным. По изменению напряжения формируется
трехмерное изображение поверхности образца
31