ГОСТ Р 55723-2013/ISO/TS 12805:2011
Продолжение таблицы В.2
Порядковый
номер
ХарактеристикаМетодКраткое описание метода
лучевойана
лиз (ИЛА)
Ионно-Метод позволяет получать информацию о
Масс-
спектрометрня
вторичных
ионов
(МСВИ)
Динамиче
скаямасс-
спектрометрия
вторичных
ионов
(Д-МСВИ)
Времяпро-
летнаямасс-
спектрометрия
вторичных
ионов
(ВП-МСВИ)
составе и структуре внешних атомных слоев
твердого материала. При проведении ИЛА об
наруживают и регистрируют в зависимости от
энергии н/или угла рассеяния однозарядные
моноэнергетическиенонызонда,которые
сталкиваются с поверхностью образца
Метод, с помощью которого, используя
масс-спектрометр,определяютотношения
массы заряженных вторичных ионов к их заря
ду и количество ионов с определенным отно
шением массы к заряду. Метод представлен в
ИСО 22048 [351 и ИСО 18114 [271.
Различают три разновидности МСВИ: ста
тическую,динамическуюиМСВИ-
изображение. Отличие статической МСВИ от
динамической МСВИ заключается в плотности
первичного ионного пучка. Высокая плотность
первичного ионного пучка, используемого при
динамической МСВИ, вызывает эрозию по
верхности образца в процессе измерения в от
личие от статической МСВИ, при которой
верхний слой атомов удаляется лишь после
многочасовых измерений. МСВИ-изображение
представляет собой сочетание двух предыду
щих разновидностей МСВИ и позволяет уста
навливать соотношение между химическим со
ставом и морфологией поверхности образца
С иомощыо Д-МСВИ можно получать ин
формацию об элементном и молекулярном со
ставе поверхности н приповерхностных тонких
слоях (до нескольких микрометров) образца.
Приборы, применяемые для Д-МСВИ, позво
ляют выполнять глубинный профильный ана
лиз элементного или молекулярного распреде
ления и обнаруживать присутствие элемента в
диапазоне одна часть на миллиард
Приборы, применяемые для ВП-МСВИ. об
ладают достаточной чувствительностью, и с их
помощью можно проанализировать один-два
монослоя (как правило, менее 2 нм) поверхно
сти образца. Метод ВП-МСВИ применяют для
проведенияполуколнчсственного анализа и
получения информации о химическом составе
поверхности образца: при изменении химиче
ского состава поверхности регистрируют из
менения относительной интенсивности диаг
ностических сигналов ВП-МСВИ
28