ГОСТ Р 55723-2013/ISO/TS 12805:2011
Окончание таблицы В.1
Порядковый
номер
Характеристика
Метод
Краткое описание метода
1.15
Морфология
поверхности
Конфо
кальнаямик
роскопия
Конфокальная микроскопия позволяет по
лучать трехмерное изображение исследуемого
образца. С помощью микроскопа измеряют из
менения высоты образца (по оси г), перемещая
предметный столик микроскопа по осям .v и
у.
Микроскопы, имеющие диафрагму с малым
отверстием, расположенную перед детектором,
позволяют во время исследования освещать
требуемую точку образца интенсивным фоку
сированным лучом, блокируя внефокусную
информацию.
В каждый момент времени регистрируют
изображение одной точки образца, а полно
ценные двумерное и трехмерное изображения
строятся путем сканирования и формирования
регулярного растра (т. е. прямоугольной сетки
из параллельных линий).
Конфокальная микроскопия позволяет вы
полнять измерения с разрешением менее 1 мкм
по осям .Vи у и менее 10 им - по оси
г
и полу
чать подробную информацию об образце,
включая его мельчайшие особенности н топо
графические изменения. С помощью зтого ме
тода измеряют образцы размером от несколь
ких квадратных миллиметров до 10000 мм’
ная микроско
пия
ЭлектронМорфологию поверхности можно опреде
лять с помощью растровой электронной мик
роскопииипросвечивающейэлектронной
микроскопии. Анализ статических изображе
ний выполняют в соответствии с ИСО 13322-1
[19]