ГОСТ Р 55723-2013/ISO/TS 12805:2011
номер
Продолжение таблицы В.2
Порядковый
Характеристика
Метод
Краткое описание метода
Скани
рующая
3011
-
довая микро
скопия (СЗМ)
Атомно-
силоваямик
роскопия
(ACM)
Скани
рующаятун
нельная мик
роскопия
(СТМ)
С помощью СЗМ получают изображение
поверхности образца и определяют ее локаль
ные характеристики в наподиапазоне. Изобра
жение образца формируется в результате реги
страции информативного сигнала, возникаю
щего в процессе сканирования поверхности
образца зондовым датчиком (кантилевером), в
контактном или бесконтактном режиме.
Виды СЗМ:
- атомно-силовая микроскопия;
- сканирующая туннельная микроскопия;
- сканирующая оптическая микроскопия
ближнего поля
С помощью ACM получают информацию о
форме и структуре наночастиц. Острие (с вер
шиной диаметром
10
нм) зонда перемещают
вдоль поверхности образца вверх и вниз (в на
правлении оси г) и регистрируют силовое
взаимодействие между поверхностью иссле
дуемого образца и зондом. Выполнив три та
ких движения, получают топографическое изо
бражение исследуемой поверхности. ACM по
зволяет в направлении оси
z
непосредственно
измерять высоту, объем и шероховатость по
верхности образца
СТМ позволяет получать информацию о
плотности состояний атомов поверхности об
разца с помощью проводящего зонда.
Напряжение подают между острием зонда и
образцом и измеряют туннельный ток. Зонд
перемещают вдоль поверхности образца, фор
мируя растр. Зонд двигается вверх и вниз в со
ответствии с рельефом поверхности благодаря
механизму обратной связи, который улавлива
ет начинающееся изменение туннельного тока и
изменяет напряжение, прикладываемое к ма
нипулятору, который передвигает зонд по вер
тикали таким образом, чтобы значение тун
нельного тока не менялось, т. е. чтобы зазор
между зондом и образцом оставался постоян
ным. По изменению напряжения формируется
трехмерное изображение поверхности образца
24