ГОСТ Р 55723-2013/ISO/TS 12805:2011
Продолжение таблицы В.2
Характеристика
Метод
Краткое описание метода
Порядковый
помер
2.7
Совмести
мость с матрицей
Спектро
скопияком
бинационного
рассеяния све
та (СКР)
Метод СКР основан на комбинационном
(рамановском) рассеянии монохроматического
света. Эффект Рамана - неупругое рассеяние
света (с изменением частоты/длины волны),
сопровождающееся переходами вещества ме
ждуколебательными,вращательнымиили
электронными уровнями энергии. С помощью
СКР исследуют молекулярные энергетические
уровни, определяют химические святи в моле
кулах, изменения в структуре молекулярных
связей (например, изменения состояний, на
в твердых матри
цах
ная микроско
пия
пряжений и деформаций)
2.8ДисперсностьЭлектронКалибровку увеличения изображений вы
полняют в соответствии с ИСО 16700 [26].
Анализ статических изображений выполняют в
соответствии с ИСО 13322-1(19]
состав поверхно
сти
2.9ХимическийНижеперечисленныеметоды(кроме
СХПЭЭ и ЭОС) позволяют выполнять измере
ния в одном направлении (по оси
z)
с про
странственным разрешением в нанодиапазоне,
а в двух других ортогональных направлениях
(по осям .Vи
у)
- с разрешением только в мик
родиапазоне. Поэтому нижеперечисленные ме
тоды применяют для определения характери
стик нанопластин, а не нановолокон и наноча
стиц
наяоже-
спектроскопия
(ЭОС) и
сканирующая
оже-
мнкроскоиня
(СОМ)
ЭлектронМетоды, с помощью которых, используя
электронный спектрометр, определяют распре
деление по энергиям оже-элекгронов, испус
каемых с поверхности образца. Методы ЭОС
представленывИСО,ТО18394[28]и
ИСО 20903 [32]
Спектро
скопия харак
теристических
потерьэнер
гииэлектро
нами
(СХПЭЭ)
Метод основан на анализе неупруго рассе
янных электронов, которые потеряли фиксиро
ванные порции энергии в процессе взаимодей
ствия с атомами образца. С помощью СХПЭЭ
можно получать информацию об элементном
составе и образовании химических соединений
в тонких слоях и многослойных структурах.
Приборы, применяемые в методе СХПЭЭ. по
зволяют выполнять измерения с разрешением в
нанодиапазоне но осям .vи у
27