ГОСТР ИСО 230-1— 2010
«Мертвая зона» измерительной трассы лазера — расстояние между оптическим интерферометром и
положением ретроотражателя, соответствующим началу счета интерференционных полос (нулевой точкой) (L,). Т.
к. измеряемый отрезок длины L2 определяется по смещениям интерференционных полос, произошедшим
после «обнуления», то компенсация изменения длины волны лазерного излучателя, вызванного нестабильнос
тью окружающих условий, возможна только на отрезке L2. Однако даже при неподвижных относительнодруг друга
интерферометре и ретроотражателе происходят смещения интерференционных полос (и соответственно их
счет), вызванные изменением длины волны на всей трассе (L, + L2). Таким образом, наличие «мертвой зоны»
приводит к некомпенсированной погрешности, причем ее величина пропорциональна длине этой зоны. Поэтому
интерферометр необходимо устанавливать как можно ближе к точке начала отсчета (нулевой точке):
d) косинусная погрешность.
Отклонение траектории луча лазера от оси перемещения элемента станка приводит к погрешности между
измеренным расстоянием и фактической длиной перемещения. Это отклонение называется косинусной погреш
ностью. потому что величина этой погрешности пропорциональна косинусу угла отклонения между лучом и пере
мещением.
При рассогласовании системы лазерного измерения с осью перемещения элемента станка косинусная
погрешность вызовет уменьшение измеренного расстояния от его фактической величины (см. рисунок А.24).
Рисунок А 24 — Косинусная погрешность
Расстояние, измеренное системой лазерного интерферометра, обозначено Llms. фактическое расстоя
ние перемещения станка Lu . Вычерчивая дугу радиуса L
lms с
центром в точке А, увидим, что L
lhs
короче Lu .
Единственный способ исключения косинусной погрешности заключается в тщательной установке прибора
перед выполнением измерений:
е) погрешности от поперечного смещения (несоблюдения принципа Аббе).
Если линия измерения смещена в поперечном направлении относительно траектории проверяемой точки
перемещаемого элемента, то любое угловое смещение перемещаемого элемента приведет к дополнительной
погрешности (см. рисунок А.25). Эта погрешность является следствием нарушения «принципа Аббе».
Г••• линия измерения: 2 —траектория вершины ре
жущего инструмента. 3 — фактическое расстоя
ние: 4 -■ измеренное расстояние. 5 — погрешность: б
-- величина смешения. 7 — угловая погрешность
Рисунок А.25 — Погрешности от поперечного
смещения (несоблюдения принципа Аббе)
77