ГОСТ Р ИСО 14644-6—2010
П р и м е ч а н и е — Эта информация может быть использована для определения тенденций изменения парамет
ров воздуха чистого помещения а эксплуатируемом <2.97) состоянии и для обеспечения стабильности процесса.
[ИСО 14644-2:2000. статья 3.1.3]
2.95 неоднонаправленный поток воздуха (non-unidirectional airflow): Поток воздуха, распределение
скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха, поступающего в чистое поме
щение (2.33) или чистую зону (2.34). с внутренним воздухом.
[ИСО 14644-4:2001, статья 3.6]. [ИСО 14644-3:2005. статья 3.4.4]
2.96 напряжение смешения (offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на перво
начально не заряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный
воздух окружающей среды.
[ИСО 14644-3:2005. статья 3.5.2]
2.97 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует уста
новленным образом с установленной численностью персонала (2.108). работающего в соответствии с
документацией.
[ИСО 14644-1:1999. статья 2.4.3], [ИСО 14644-3:2005. статья 3.7.3], [ИСО 14644-5:2004,
статья 3.2.3]. [ИСО 14698-1:2003. статья 3.2.3]
2.98 оператор (operator): Лицо, работающее в чистом помещении (2.33) или выполняющее техноло
гические операции, связанные с выпуском продукции.
[ИСО 14644-5:2004. статья 3.1.6]
2.99 органическое загрязнение (organic): Углеводород с наличием или отсутствием кислорода, азота
или других элементов.
[ИСО 14644-8:2006. статья 3.2.7]
2.100 выдолоние (outgassing): Выделение материалом газов или паров.
[ИСО 14644-8:2006. статья 3.1.5]
2.101 окислитель (oxidant): Вещество, которое после осаждения на поверхность или продукт приво
дит к образованию оксидов (02/0 3) или участвует в реакции окисления.
[ИСО 14644-8:2006. статья 3.2.8]
2.102 частица (общий термин) (particle): Мельчайшая частица вещества с определенными физически
ми границами.
П р и м е ч а н и е — Термин соответствует установленному в ИСО 14644-4:2001, статья 3.7, и ИСО 14644-5:2004,
статья 3.1.7.
2.103 частица (термин для классификации чистоты воздуха) (particle): Твердый или жидкий объект,
который в целях классификации чистоты воздуха характеризуется совокупным распределением, осно
ванным на пороговом размере (нижнем пределе) в диапазоне 0.1—5.0 мкм.
П р и м е ч а н и е — Термин соответствует установленному в ИСО 14644-1:1999. статья 2.2.1.
2.104 концентрация частиц (particle concentration): Число отдельных частиц (2.102) в единице объе
ма воздуха.
[ИСО 14644-1:1999. статья 2.2.3]. [ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.7]
2.105 размер частицы (particle size): Диаметр сферы, которая в контролирующем приборе дает
отклик, равный отклику от оцениваемой частицы (2.102).
П р и м е ч а н и е — Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света, испопьзуется
эквивалентный оптический диаметр.
[ИСО 14644-1:1999. статья 2.2.2], [ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.8]
2.106 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц (particle size cutoff device): Устрой
ство, помещаемое на входе в дискретный счетчик частиц (2.59) или счетчик ядер конденсации
(2.37) для удаления частиц (2.102) размером менее установленного.
[ИСО 14644-3:2005. статья 3.6.13]
2.107 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение
концентрации частиц (2.104) в зависимости от их размеров (2.105).
[ИСО 14644-1:1999. статья 2.2.4]. [ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.9]
2.108 персонал (personnel): Лица, входящие в чистое помещение (2.33).
[ИСО 14644-5:2004. статья 3.1.8]
2.109 предфильтр (pre-filter): Воздушный фильтр, установленный перед другим фильтром с целью
уменьшения загрязнения этого фильтра.
[ИСО 14644-4:2001. статья 3.8]
8