ГОСТ Р ИСО 14644-6—2010
2.80 импактор (impact sampler): Устройство, предназначенное для отбора частиц (2.102) из воздуха
или другого газа путем их осаждения на твердую поверхность.
(ИСО 14698-1:2003. статья 3.1.13]
2.81 импинджер (impingement sampler): Устройство, предназначенное для отбора частиц (2.102) из
воздуха или другого газа путем их осаждения на поверхность жидкости и последующего проникания
частиц в жидкость.
(ИСО 14698-1:2003, статья 3.1.14]
2.82 система чистого помещения (installation): Чистое помещение (2.33) или одна или несколько
чистых зон (2.34) со всеми относящимися кним структурами, системами подготовки воздуха, обслужи
вания и утилизации.
(ИСО 14644-1:1999. статья 2.1.3], (ИСО 14644-3:2005. статья 3.1.3]
2.83 установленная система фильтрации (installed filtersystem): Система фильтрации (2.67), вмон
тированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.
(ИСО 14644-3:2005, статья 3.3.6]
2.84 испытание целостности установленной системы фильтрации (installed filter system leakage
test): Испытание (2.130) для проверки правильности установки фильтров, отсутствия утечек в обход
фильтров, а также самих фильтров и их креплений на содержание дефектов и утечек (2.87). (2.88).
(ИСО 14644-3:2005, статья 3.3.7]
2.85 изоаксиальный отбор проб (iso-axial sampling): Отбор проб, при котором направление потока
воздуха на входе в пробоотборник совпадает с направлением однонаправленного потока (2.138),
подлежащего отбору.
(ИСО 14644-3:2005, статья 3.6.11]
2.86 изокинетический отбор проб (isokinetic sampling): Отбор проб, при котором средняя скорость
воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока (2.138) в
точке отбора.
(ИСО 14644-3:2005. статья 3.6.12]
2.87 утечка (для фильтров) (leak): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концен
трации после фильтра из-за нарушения целостности в системе фильтрации (2.67).
(ИСО 14644-3:2005. статья 3.3.8]
2.88 утечка (для изолирующих устройств) (leak): Дефект, обнаруживаемый в изолирующих устрой
ствах (2.118) при испытании (2.130)с перепадомдавления по отношению к атмосферномудавлению.
(ИСО 14644-7:2004. статья 3.14]
2.89 М-дескрилтор (М descriptor): Концентрация макрочастиц (2.90) в 1 м3 воздуха, выраженная
через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод контроля.
П р и м е ч а н и е — М-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках
отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, по которому оцени
вается чистое помещение
(2.33)
ипи чистая зона
(2.34)).
М-дескрипторы не могут испопьзоваться дпя определе
ния классов чистоты
(2.32)
по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или
совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.
(ИСО 14644-1:1999. статья 2.3.2]. (ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.5]
2.90 макрочастица (macroparticle): Частица (2.102) с эквивалентным диаметром более 5,0 мкм.
(ИСО 14644-1.1999. статья 2.2.6]. (ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.4]
2.91 медиана диаметров частиц по массе (mass median particle diameter; MMD): Диаметр частицы
(2.102), определение которого основано на распределении массы частиц как функции их диаметра.
П р и м е ч а н и е — Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в распределении
имеет диаметр меньший, а другая половина — диаметр больший, чем массовая медиана.
(ИСО 14644-3:2005. статья 3.2.6]
2.92 плоскость измерений (measuring plane): Площадь поперечного сечения, в которой проводятся
испытания (2.130) или измеряется скорость воздушного потока.
(ИСО 14644-3:2005, статья 3.4.3]
2.93 молекулярные загрязнения (molecular contamination): Молекулярные образования химической
природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или обору
дование.
(ИСО 14644-8:2006. статья 3.1.1]
2.94 мониторинг (monitoring): Наблюдения, выполненные путем контроля параметров в соответствии
с определенным методом и программой для получения данных о работе чистых помещений.
7