ГОСТ 8.591—2009
мый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен
превышать 1‘.
Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позво
ляет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видео
профиля элемента и. одновременно с этим, регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера
двумя лазерными интерферометрами.
8.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации ACM проводят пробное сканирование пове
ряемого элемента рельефа.
При этом предварительно:
- выполняют юстировку зеркал в соответствии синструкцией поэксплуатации применяемыхлазер
ных интерферометров;
- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность
направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направ
ления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента рельефа;
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферомет
ров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в эпектронно-фа-
зометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных
полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информатив
ными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;
- устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интер
ферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используе
мых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
8.3.2 В соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферо
метров проводят сканирование выступа поверяемого элемента рельефной меры. Одновременно с по
мощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной
части рабочего стола ACM и вертикального перемещения Z-сканера ACM.
Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда ACM
приведены на рисунке 1.
Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, изображен на рисунке 2.
Ьр — ширина нижнего основания выступа;
6
М— ширима верхнего основания выступа,
h
— высота выступа;
а — значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
Рисунок 1 — Сечение поверяемого элемента рельефной меры
5