ГОСТ 8.591—2009
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕ
Л
ЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
С ТРАПЕЦЕИДА
Л
ЬНЫМ ПРОФИ
Л
ЕМ Э
Л
ЕМЕНТОВ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Verification method
Дата введения — 2010— 11—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапеце
идальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изго
товления которых соответствуют требованиям ГОСТ8.592. Рельефные меры применяют для измерения
линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
ГОСТ8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные
нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам,
линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ 12.1.040—83 Система стандартов безопасности труда.
Л
азерная безопасность. Общие по
ложения
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоя
нию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям,
опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим
стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отме
нен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ29 [1]. а также следующие термины ссоответ
ствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа повер
хности.
3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
Издание официальное
1