ГОСТ 8.591—2009
а
— точка иа видсопрофиле. соответствующая начальному положению аонда ACM при сканировании; у —
точка ма видсопрофиле, соответствующая конечному положению зонда при сканировании.
Н
— высо та
выступа, измеренная по видеопрофилю:
L
— разность абсцисс конечной и начальной точек горизон
тального сканирования, соответствующая величине горизонтального перемещения подвижной части
рабочего стола ACM, вычисленная по аидеопрофилю
Рисунок 2 — Видеопрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры, приведенного
на рисунке 1 (направление сканирования — слева направо)
8.3.3 По показаниям электронно-фазометричесхой системы горизонтального лазерного интерфе
рометра определяют значение горизонтального фазового сдвига ДФ,в радианах между информативным и
опорным лучами этого интерферометра.
8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикальноголазерного интерферо
метра определяют значение вертикального фазового сдвига ДФ, в радианах между информативным и
опорным лучами этого интерферометра.
8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
8.4 Оформление протокола поверки
Результаты измерений параметров рельефной меры по 8.3.2 — 8.3.4 и указанных на рисунке 2
оформляют в виде протокола. В протоколе также приводят значения условий проведения поверкидо на
чала и после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.
Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами поверки должен храниться как мини
мум до следующей поверки рельефной меры.
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM при
сканировании поверяемого элемента рельефа
Горизонтальное перемещение подвижной части рабочегостола д/., нм, от начального до конечного
положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
(1)
Д1=
_
^2
_
ДФГ,
4пл
где м — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуля
ре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
ДФ-— фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;
п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей сре
ды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.2 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс
Масштабный коэффициент видеоизображения т , нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют пофор
муле
(
2
)
где д L — перемещение подвижной части рабочего стола ACM при горизонтальном сканировании, вы
численное по 9.1, нм;
6