ГОСТ 8.591—2009
- атмосферное давление...................................................(100 • 4) к
Л
а;
- напряжение питающей сети.........................................(220 ♦22) В:
- частота питающей сети...................................................(50,0 ♦0,4) Гц.
Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна пре
вышать указанных в приложении А.
7.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер,
должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по
взвешенным в воздухе частицам с размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ
ИСО 14644-1.
7.3 Перед началом поверки рельефных мер необходимо подать напряженно питания на основные
средства поверки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.
8Проведение поверки
8.1 Внешний осмотр
8.1.1 При внешнем осмотре поверяемой рельефной меры должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную
меру,
- отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транс
портирование рельефной меры.
8.1.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний
осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают
меру на рабочий стол ACM.
При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
- параллельность плоскости, образованной геометрической формой элемента рельефа меры, на
правлению горизонтального перемещения рабочего стола ACM;
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM.
8.1.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество
поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной меры должна быть одно
родной, при этом примерно на 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий,
искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов
рельефа.
8.2 Опробование
8.2.1 С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд ACM в положе
ние, соответствующее началу сканирования поверяемого элемента рельефной меры.
Начальное положение определяют следующим образом зонд ACM устанавливают на плоскость
нижнего основания на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 % ши
рины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда
ACM при сканировании.
8.2.2 На неподвижном элементе в камере образцов ACM устанавливают зеркало лазерного ин
терферометра. предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе ACM — другое
зеркало для формирования информативного луча.
Л
азерный интерферометр (далее — горизонталь
ный лазерный интерферометр) располагают вдоль оси. совпадающей с горизонтальным направлением
сканирования (далее — ось абсцисс).
Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образ
цов ACM. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного
(на неподвижном элементе камеры)лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера ACM
в вертикальном направлении сканирования (далее — ось ординат).
Второй лазерный интерферометр (далее — вертикальный лазерный интерферометр) устанавли
вают соответственно расположению зеркал.
Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию
информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Для каждого интер
ферометра необходимо такжеобеспечить взаимную параллельность информативного иопорного лучей
при всех положениях стола иZ-сканера ACM в процессе сканирования поверяемого элемента. Допусти-
4