ГОСТ 8.591—2009
3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
П ример — Трапецеидальны й в ы с т у п , пр е д ста в л я ю щ и й собой эл е м е н т рельеф а по ве р хн о сти , ге о
м е тр и че с
к
а я ф орма м иним ал ьного по площ ади сечения
к
о т о р о го наиболее а д е
к
в а тн о а п п р о
к
си м и р уе т
ся тр апе ц и ей .
3.5 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведе
ния и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения кото
рых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью [1].
3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, ли
нейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, ли
нейный размер хотя бы одного из которых менее 1(Н м.
3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элемен
тов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой
представляет собой трапецию.
3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда микроскопа над
выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемещение исследуемого
объекта под зондом) с одновременной регистрацией информативного сигнала.
3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на эк
ране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо
пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблю
дателя.
3.12 видеопрофиль (информативного сигнала): Графическая зависимость значения инфор
мативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видео
изображения.
3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины иссле
дуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображе
нии.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устрой
ство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования пе
ремещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под
зондом) в вертикальном направлении.
4Операции и средства поверки
4.1При проведении первичной и периодических поверок рельефной меры должны быть выполне
ны операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
Т а б л и ц а1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование
операции
Номер
подраздела
настоящего
стандарта
Наименование средства поверх* и его основные технические
и метрологические характеристики
Внешний осмотр8.1Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение — не ме
нее 400х)
2