ГОСТ 8.591—2009
Библиография
(1) РМГ 29— 99 Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и
определения
УДК 531.711.7.089:006.354МКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элемен
тов. сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика поверки
Редактор
Т.А Леонова
Технический редактор
Н.С. Гришанова
Корректор
Т.И Кононен
к
о
Компьютерная верстка
В.И. Грищен
к
о
Сдано в набор 11.05.2010. Подписано в печать 10.06 2010. Формат 60-84Vt . Бумага офсетная. Гарнитура Ариап.
Печать офсетная. Уся. печ. п. 1
,86
Уч.-иад. л. 1.50. Тираж 109 экз. Зак. 477.
ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва. Гранатный пер . 4
www.
90
stmfo.ru
info@gostinfo.ru
Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ
Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва.
Л
ялин лер..
6
ГОСТ 8.591-2009