ГОСТ 8.591—2009
О
к
ончание таблицы 1
Наименование
операции
Номер
подраздела
настоящего
стандарта
Наименование средства поверки и его основные техиичесше
и метрологические характеристики
Опробование
8.2
Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп.
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение — не ме
нее 400х).
Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излуче
ния — гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирова на
по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и
определена с относительной погрешностью не более 3 10-’ %. В ком
плект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить
два зеркала, предназначенные для формирования опорного и инфор
мативного лучей, по фазовому сдвигу
ДФ
между которыми определяют
перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования
атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения
фазового сдвига
ДФ
— не более 0.002 рад.
Определение метро-8.3Атомно-силовой микроскоп.
логических характе-
ристик
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение — не ме-
нее 400х).
Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излуче
ния — гвлий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирова на
по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и
определена с относительной погрешностью не более 3 • 10-’ %. В ком
плект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить
два зеркала, предназначенные для формирования опорного и инфор
мативного лучей, по фазовому сдвигу
ДФ
между которыми определяют
перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования
атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения
фазового сдвига
ДФ
— не более 0.002 рад.
Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютны
ми погрешностями не более:
- температуры окружающей среды —
±
0.2 ‘ С;
- относительной влажности воздуха — х 3 %;
- атмосферного давления — г 130 Па
4.2Допускается применятьдругие средства поверки, точность которых соответствует требовани
ям настоящего стандарта.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы пред
приятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со
сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерны
ми гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.
6 Требования безопасности
6.1 При поверке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности, требова
ния лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования к обеспечению безопасности на рабочих
местах поГОСТ 12.2.061.
6.2 Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с
требованиями трудового законодательства.
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды ................................(20
±
3) °С;
- относительная влажность воздуха.............................не более 80 %;
3