ГОСТ 8.591—2009
L — разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствую
щая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM. вычисленная по
видеопрофилю (см. рисунок 2). пиксель.
9.3Вычисление вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании поверяе
мого элемента рельефа
Вертикальное перемещение Z-сканера ACM лН, нм. при сканировании поверяемого элемента
рельефа вычисляют по формуле
дН = -^-ДФ в,(3)
4
хп
где >.г — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуля
ре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;
Аф — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4. рад;
п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей сре
ды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.4 Вычисление высоты выступа поверяомого элемента рельефа
Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера
АН. вычисленному по 9.3.
9.5 Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основа
ния выступа поверяемого элемента рельефа
При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа Ьи используют вспомо
гательную величину, для вычисления которой;
- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на
рисунке 2. результат такого вычисления приведен на рисунке 3;
- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисля
ют значение вспомогательной величиныв пикселях, которая равна разности соответствующих аб
сцисс точек, как показано на рисунке 3.
d
X
— ось абсиисс по 8.2.2; a,
f
— начальная и конечная точки положения зонда ACM при ска
нировании поверяемого злемента. расположенные о соответствии с требованиями по
8
.
2
.
1
;
—
l
. — ось ординат по значению производной величины видеосигнала по координате х
dx
Рисунок 3 — Графическое изображение первой производной видеопрофиля по
координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола
ACM
9.6 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа
Ширину верхнего основания выступа Ьи, нм, вычисляют по формуле
Ьи = т б и.(4)
где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2, нм/пик-
сель;
В„ — вспомогательная величина, вычисленная по 9.5, пиксель.
7