На приспособлении имеются три упорных валика диаметром 8h7, укрепленных неподвижно в диске. В головке с исследуемыми образцами имеются три отверстия диаметром 8Н7, в которые вставлены стальные шарики диаметром 8 мм.

Приспособление с микаторами накладывается на головку с образцами до обработки таким образом, чтобы упорные валики вошли в отверстия и плотно сели на шарики. Производится настройка микаторов на «О».

После этого головку с образцами устанавливают на шлифовальный станок. На головку накладывается груз массой (600±25) г, входящий в комплект станка. Полирование производится при частоте вращения планшайбы (80±5) мин^-1, время полирования (30±1) мин.

После полирования промывают образцы бензином, высушивают. Приспособление с микаторами снова накладывается на головку с образцами в тех же точках, снимают показания каждого из микаторов и определяют среднее арифметическое значений высоты снятого слоя кремния.

5.2. Определение шероховатости поверхности по параметру R_z ГОСТ 2789—73 производится на микроинтерференционном микроскопе МИИ-4 ГОСТ 9847—79. На предметном столике микроскопа установлена ось, на которую насаживается головка с исследуемыми образцами кремния. Головка свободно вращается вокруг оси. В поле зрения микроскопа выбираются три участка на каждом образце и измеряется шероховатость поверхности.

6. Обработка результатов измерений

6.1.    Скорость съема v в мкм/мин определяется:

для зернистостей 1/0,5,    0,7/0,3,    0,5/0,1,    0,5/0,    0,3/0 по формуле

Я,+Я,+Я₃    „ . ..    .    Я,+Я₂+Я₃

v=-- для зернистости 0,1/0 по формуле v = -t-n-K- ’

где Н_и Я₂, Яз — высота слоя, снятого на каждом образце за время испытаний, мкм;

t — время полирования, мин; п — количество образцов, шт.;

К=2 — коэффициент, учитывающий увеличение навески порошка.

Погрешность измерения не должна превышать ±10 %.

6.2.    Результаты измерений должны быть оформлены записью в рабочем журнале и соответствующей графе паспорта на алмазный порошок».