ГОСТ 25593—83 С. 17

5.    Проведение испытаний

5.1.    Испытания проводят на настольном шлифовальном станке с частотой вращения — 80 мин^-1 (об/мин). Навески пасты, взвешенные с погрешностьк> ±0,01 г, помещают между двумя стеклянными дисками и растирают. Растертую пасту с обоих дисков переносят на ткань шлифовальника, распределяя ее равномерно по всей поверхности. Головку с образцами устанавливают в направляющие ролики и создают давление (12±2) кПа (120±20) гс/см², время полирования—(30,0±0,5) мин.

В качестве разбавителя в зону обработки во время полирования вводился спирт; скорость подачи спирта из дозатора, входящего в комплект станка — 60—80 капель/мин; После полирования образцы ¹ кремния тщательно протираются миткалем, смоченным бензином.

6.    Обработка результатов

6.1.    Определение параметра шероховатости поверхности Rz образцов Производится на микроскопе. На предметном столе микроскопа установлена ось, на которую насаживается головка с исследуемыми образцами кремния. Головка свободно вращается вокруг оси. В поле зрения микроскопа выбираются для измерения параметры шероховатости образцов наиболее характерные участки поверхности.

6.2.    Определение скорости съема слоя кремния пастами из субмикропорош

ков производится на приспособлении, представляющем собой диск диаметром 140 мм и высотой 15 мм, имеющем на торцах три посадочных отверстия 08Н7 мм, расположенных на одинаковом расстоянии друг от друга и от края диска на 5 мм. В посадочных отверстиях укреплены три микатора с ценой деления 0,001 мм.    '    -    Л

На приспособлении имеется три упорных валика 0 8h7 мм, укрепленных неподвижно в диске.

В головке с исследуемыми образцами высверлены отверстия 0 8Н7 мм, в которые вставлены одинаковые шарики диаметром 8 мм.

Приспособление накладывается на головку таким образом, чтобы упорные валики вошли в отверстие и плотно сели на шарики. \

Настройка микаторов производится на «0» по трем точкам.

После полирования кремниевых пластин приспособление снова накладывают на головку в тех же точках, снимают показания с каждого из микаторов и определяют среднее арифметическое значение высоты снятого слоя крей-ния.

6.3.    Результаты измерений записываются в форме следующей таблицы.