6.4. Скорость съема v в мкм/мин определяется: для зернистостей 0,7/0,3, 0,5/0,1, 0,3/0 по формуле

Я,+Я₂+Яз

*= Г.П-^;

для зернистости 0,1/0 по формуле

_г . Я₁ + Я₂+Я₃

t-n-K

где Я_ь Я₂, Яз — высота снятого слоя кремния на каждом образце за время испытаний, мкм;

/=30 мин — время полирования;

К=2 — коэффициент, учитывающий увеличение навески порошка; п=3 — количество образцов.

Погрешность измерения не должна превышать ±10%.