ГОСТ 25593—83 С. 15

5.4.    Включают установку и проводят доводку образцов пастами зернистостью:

60/40, 40/28, 28/20, 20/14, 14/10--в течение (5,0±0,1) мин;

10/7, 7/5, 5/3, 3/2, 2/1, 1/0 — в течение (2,0+0,1) мин.

5.5.    Установку отключают, снимают груз, вынимают блок из обоймы, удаляют с образцов и планшайбы ватой, смоченной бензином или спиртом, отработанную суспензию со шламом и высушивают блок с образцами на воздухе.

5.6.    Определяют параметры шероховатости обработанных поверхностей образцов.

5.7.    Шероховатость поверхностей образцов и планшайбы следует контролировать на профилографе — профилометре. Шероховатость поверхности с параметром Ra более 0,32 мкм может быть проконтролирована на микроскопе сравнения, а с параметром Ra менее 0,32 мкм — на микроинтерферометре по параметру Rz.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4 Обязательное

МЕТОД

ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ СЪЕМА И ПАРАМЕТРА ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, ОБРАБОТАННОЙ ПАСТАМИ ИЗ СУБМИКРОПОРОШКОВ

1. Сущность метода

1.1.    Сущность метода заключается в определении скорости съема материала и параметра шероховатости поверхности образцов, обработанных пастами из субмикропорошков определенной зернистости.

2. Отбор проб

2.1.    От каждой партии паст от.бирают из любой части ее объема пробу массой 1,20 г для паст зернистостью 0,7/0,3, 0,5/0,1, 0,3/0 и массой 2,40 г для паст зернистостью 0,1/0.

3. Аппаратура и материалы

3.1. Для проведения испытания применяют: станок шлифовальный настольный типа В 1 М3 105.000; микаторы по ГОСТ 14712—79 с ценой деления 1,0 мкм; микроскоп МИИ по ГОСТ 9847—79;

пластины монокристаллического кремния марки КЭФ 4,5/0,1, ЭКЭС 0,01/4, диаметром 25'—35 мм, высотой 1—5 мм;

весы лабораторные 2-го класса по ГОСТ 24104—80;

гири 2-го класса по ГОСТ 7328—82;

секундомер СОПпр 1а—2—III по ГОСТ 5072—79;

линейку поверочную типа ЛТ длиной не менее 320 мм по ГОСТ 8026—75;

набор щупов № 1, № 2 по ГОСТ 882—75;

диски стеклянные диаметром 130—150 мм по ГОСТ 3514—76;