ГОСТ Р 8.630—2007
При этом:
- ширина нижнегооснованиявидеопрофиля Врдолжна быть не менее0.4 общей длины видеопро
филя;
-проекциянаклоннойстенки видеопрофиляARивысота выступа повидеопрофилюНдолжныбыть
не менее 200 пикселей.
8.2.5 Послезавершенияоперации настройкиустройства регистрации видеоизображенияопреде
ляют значение в пикселях общей длины видеопрофиля в направлении сканирования. Это значение
общейдлины указывают в протоколе поверки.
8.2.4.8.2.5 (Введены дополнительно. Изм. № 1).
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Всоответствиис инструкцией поэксплуатации микроскопа выполняют сканирование иссле
дуемого элемента рельефной меры изаписывают видеоизображение.
Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2. соответствует элементу рельефа, изображенному на
рисунке 1.
Значения параметров, указанных на рисунке 2. определяют экспериментально путем обработки
полученного видеопрофиля.
8.3.2 Присканировании исследуемогоэлемента рельефной меры необходимо, чтобы наклон зон
да микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной к направлению переме
щения зонда.
Рисунок 2 — Видеопрофиль (направление сканирования слева направо)
Наклон зонда должен быть не более 20°. При соблюдении дополнительного условия ортогональ
ности вертикального перемещения зонда, регистрируемая кривая будет симметричной иAL=AR.
П р и м е ч а н и е — Если значения^ ине равны, то это указывает на неортогональность вертикального
перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения 2-сканера поверяемого микроскопа
по 9.4.
8.4 Оформление протокола поворки
Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 2. оформляют в
виде протокола. Форма протокола — произвольная.
В протокол также записываютзначение общейдлины видеопрофиля, определенное по8.2.5.
Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки мик
роскопа.
(Измененная редакция. Изм. № 1).
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа тх. нм/пиксель, вдоль направления
сканирования вычисляют поформуле
гдеа — значениепроекциинаклоннойстенкивыступа, приведенноев паспорте(формуляре)на рельеф
ную меру, нм;
AR — значениепроекциинаклоннойстенкирельефной меры, измеренноеповидеопрофилю, пиксель.
5