ГОСТ Р 8.630—2007
УДК 531.711.7.089:006.354ОКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, сканирующие зондовые атом
но-силовые микроскопы, методика поверки
Редактор hi.И. Маясииова
Технический редактор В.Н. Прусакова
Корректор М.В. Бучмая
Компьютерная верстка А.Н. Зогютарааой
Подписано в печать 08.02.2011.Формат 60 « 84у£.Бумага офсетная.Гарнитура Ариап.
Печать офсетная. Уел. печ. л. 1,40. Уч.-изд. л. 0.70.Тираж в1 экз.Зак. 84
ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва. Гранатный пер., 4
www.gostmio.ru
т’о@ gostmfo.ru
Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ.
Отпечатано а филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер.. 6.