ГОСТ Р 8.630—2007
3 Термины и определения
В настоящем стандарте примененыследующие термины с соответствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тола): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа повер
хности.
3.3 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп: Зоидовый атомно-силовой микрос
коп с нормированными метрологическими характеристиками, предназначенный для измерения линей
ных размеров элементов рельефа поверхности и/или расстояний между ними путем сканирования
поверхности острием зонда.
3.4 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.5 сканирование (элемента исслодуемого объекта): Перемещение зонда вдоль выбранного
отрезка исследуемогообъекта содновременной регистрацией информативногосигнала.
3.6 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение наэкра
не монитора микроскопа в виде матрицы из п строк пот пикселей в каждой, яркость которых прямопро
порциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркостьпикселяопределяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюда
теля.
3.7 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость
значения информативногосигнала, поступающегосдетектора микроскопа, от номера пикселя вданной
строке видеоизображения.
3.8 масштабный коэффициент(видеоизображения микроскопа): Отношение значениядлины
исследуемогоэлемента на объекте измерений кчислу пикселей этогоэлемента на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.9 эффективный радиус (острия) зонда (микроскопа). Радиус сферы, характеризующей гео
метрические размеры острия зонда микроскопа.
П р и м е ч а н и е — Эффективный радиус зонда микроскопа определяют по значению радиуса сферы, впи
санной вострив зонда при одновременном касании острия боковой грани выступа идна канавки рельефной меры по
ГОСТ Р 8.629.
3.10 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство
сканирующегозондовогоатомно-силовогомикроскопа, позволяющеев процессесканирования удержи
ватьзонд ввертикальном положении иобеспечивающеепостоянноерасстояние междуострием зондаи
поверхностью исследуемого объекта.
3.11 рельефная мора нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10" 6 м.
3.12 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенной выше
прилегающих к нему областей.
3.13 геометрическая форма элемента рельофа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверх
ности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно
аппроксимируется трапецией.
(Измененная редакция, Изм. N91).
4 Операции и средства поверки
4.1При проведении первичной и периодических поверок микроскопа должны быть выполнены
операции и применены средства поверки, указанные втаблице 1.
2