ГОСТ Р 8.630—2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика поверки
State system (or ensuring the uniformity of measurements.
Atomic-force scanning probe microscopes.
Methods for verification
Дата введения 2008—02—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие эондовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемыедля измерений линейныхразмеров вдиапазоне от 10’9до 10’6м, и
устанавливаетметодику их первичной и периодических поверок сиспользованием рельефных мерпо
ГОСТ Р 8.628и ГОСТ Р 8.629.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р8.628—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор
мам, линейным размерам ивыбору материаладля изготовления
ГОСТ Р 8.629—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-Г
ГОСТРИС0 14644-5—2005Чистыепомещения исвязанныес нимиконтролируемыесреды. Часть5.
Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общиетребования безопасности к рабочим местам
ГОСТИС014644-1—2002Чистые помещения исвязанныеснимиконтролируемыесреды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
* ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.
Издание официальное
1