ГОСТ Р 8.630—2007
П р и м е ч а н и е — При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значе
ние проекции наклонной стенки AR, соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это
значение при выполнении условия по 8.3.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.
9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа
Эффективный радиусострия зонда микроскопа г. нм. вычисляют по формуле
г =0.966 (™хВр-Ь р).
где тх — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по9.1. нм/пиксель;
В0 — ширина нижнегооснования, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
Ьд — ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную
меру. нм.
9.3 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа
Цену деления вертикальной шкалы микроскопа тг,нм/пиксель. вычисляют поформуле
где h — высота выступа, приведенная в паспорте на рельефную меру, нм;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.
9.4 Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа отортогональности
Если значение ALне равноARв пределах заданной точности измерений, то относительное откло
нениеZ-сканера микроскопаотортогональности поотношению кнаправлениюсканированияZx(безраз
мерная величина) вычисляютпоформуле
2 - т
a l
~
Ая
)
ж~
2Нтг
где тх — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по9.1. нм/пиксель,
A
l
.A
r
— проекции наклонных стенок рельефной меры в направлении слева направо, пиксели;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель:
тг — цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3. нм/пиксель.
9.5 Погрешности измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по 9.1—9.4.
составляют:
- для тх итг —абсолютные погрешности измерений — не более±0.02 нм/пиксель;
- для Zxиг — относительные погрешности измерений — не более ±6 %.
(Введен дополнительно, Изм. № 1).
10 Оформление результатов поверки
10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы внесением
соответствующей записи в паспорт (формуляр) микроскопа и удостоверяют оттиском поверительного
клейма, наносимого на микроскоп.
10.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) микроскопа дол
жны быть приведены:
- значение общей длины видеопрофиля, определенное по 8.2.5;
- значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх, цены деления верти
кальной шкалы микроскопа тг, значения относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортого
нальности по отношению к направлению сканирования Zx и значение эффективного радиуса острия
зонда г.
Для перечисленныхметрологическиххарактеристикмикроскопа необходимотакже указатьзначе
ния погрешностей измерений, приведенные в подразделе 9.5 настоящего стандарта.
10.1.10.2 (Измененная редакция, Изм. Ns 1).
6