ГОСТ Р 8.630—2007
Т а б л и ц а 1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование операции
Номер пункта
настоящего стандарта
Наименование средства поверит и его основные технические
и метрологические характеристики
Внешний осмотр
8.1
—
Опробование
8.2
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение
не менее 400’)’
Рельефная мера, изготовленная по ГОСТ Р 8.628 и по
веренная по ГОСТ Р 8.629
Определениеметрологи
Рельефная мера, изготовленная по ГОСТ Р 8.628 и по
ческих характеристик
8.3 веренная по ГОСТ Р 8.629
* Допускается при проведении операции «Опробование» не использовать оптический микроскоп.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
4.2Допускается применятьдругие средства поверки, точность которыхсоответствуеттребовани
ям настоящегостандарта.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку микроскоповдолжны проводитьштатные сотрудники метрологической службы предприя
тия. аккредитованной в установленном порядке на право поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со
сканирующимизондовымиатомно-силовымимикроскопамиизнатьтребованиянастоящегостандарта.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
6 Требования безопасности
При поверке микроскопов необходимо соблюдать правилаэлектробезопасности по[2]. [3] итребо
вания пообеспечению безопасности на рабочих местахпо ГОСТ 12.2.061. [4], [5].
Рабочие места поверителейдолжны бытьаттестованы поусловиям труда в соответствии с требо
ваниями трудовогозаконодательства.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
7 Условия проведения поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки микроскопадолжны быть соблюдены следующие условия:
- температураокружающей среды.............(20±3)°С;
- относительная влажность воздуха
..........
не более 80%;
- атмосферноедавление............................(100 *4)кПа;
- напряжение питающей сети....................(220 ±22) В;
- частота питающей сети............................(50.0 ± 0.4) Гц.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
7.2 Помещение (зона), где размещен микроскоп и средства его поверки, должно бытьв эксплуати
руемомсостояниииобеспечиватьклассчистоты неболее класса8 ИСО повзвешенным ввоздухечасти
цам с размерами 0,5 и5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность
контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИС014644-2. Эксплуатацию помещения
(зоны)осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
7.3 Подготовка к поверке микроскопа включает в себя выполнение следующихработ:
- выбирают необходимую для поверки микроскопа рельефную меру нанометрового диапазона с
трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефная мера), линейные размеры и материал
для изготовления которой соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефная мера должна быть
поверенапоГОСТ Р8.629. Сечениевыступарельефноймеры приведенонарисунке 1.Вкачествеиссле
дуемого элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведены значе
ния проекции боковой грани на плоскость нижнегооснования а. ширины нижнего основания выступа Ьр,
высоты выступа h . В зависимости от значения ожидаемого эффективного радиуса зонда микроскопа г
используют рельефную меру, для которой
— 2:1,5;
2г
3