•■9.5 Погрешности измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроско
па, вычисленных по 9.1—9.4, составляют;
- для
тх
и
тг
—абсолютные погрешности измерений —нс более
-
0.02 нм/ииксель;
- для
2
и
у
— относительные погрешности измерений — нс более
Гб%».
Пункты 10.1. 10.2 изложить в новой редакции:
<10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установ
ленной формы внесением соответствующей записи в паспорт (форму
ляр) микроскопа и удостоверяют оттиском новертпельною клейма, на
носимого на микроскоп.
10.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (фор-
муляре) микроскопа должны быть приведены:
- значение обшей длины видсопрофиля. определенное по 8.2.5;
- значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
тх.
пены деления вертикальной шкалы микроскопа
тг
значения
относительногоотклонения Z-Сканера микроскопа от ортогональнос
ти по отношению к направлению сканирования Z и значение аффектив
ного радиуса острия зонда г.
Для перечисленных метрологических характеристик микроскопа не
обходимо также указать значения погрешностей измерений, приведен
ные в подразделе 9.5 настоящего стандарта*.
Библиография. Исключить позиции |1). |6| и |7|.
Библиографические данные. Ключевые слова. Исключить слово:
«измерительные».
(ИУС № 2 2011 г.)
9