ГОСТР ИСО 16242—2016
l
a) наименование или идентификацию используемого оборудования;
b
) первичную энергию электронного пучка и угол падения;
c) ток, текущий через образец, или ток пучка;
d) тип детектора, число детекторов и, в случае многоканальных детекторов, режим работы;
e) энергетическое разрешение анализатора.
0 коэффициент замедления спектрометра или энергию пропускания спектрометра, ширину щели,
если это применимо;
д) угол, задающий направление регистрации информативного сигнала, использованный при вы
полнении измерений;
h) давление в аналитической каморе до и в течение анализа;
i) диаметр пучка в условиях проведения анализа, если это имеет отношение к анализу, например,
для получения изображения или картирования (если пучокосуществляет сканирование во время сбора
информации, указать диапазон сканирования);
j) начальную энергию;
k) конечную энергию или диапазон сканирования и количество циклов;
) число точек данных, выраженное как целое число или как число вольт/шаг. и ширину энергети
ческого канала;
т) время сбора данных, выраженное либо как время/шаг, либо как полное время с указанием
времени измерения и длительности облучения лучком;
п) данные об аналоговой модуляции, когда осуществляется сбор данных в аналоговом диффе
ренциальном режиме.
Вся вышеуказанная информация впоследствии должна быть передана аналитиком, проводящим
анализ, заказчику по его запросу вместе с анализом ОЭС данных. Заказчик и аналитик установят фор
мат. используемый для передачи этой информации. Например, экспериментальная информация может
содержаться в приложении или в экспериментальной части протокола.
Калибровка Оже-электронныхспектрометровдолжнабыть выполнена всоответствии сИСО 17973
или ИСО 17974. или с помощью метода калибровки, указанного в документах изготовителя.
5.3 Спектры
Все ОЭС спектры, поставляемые заказчику, должны содержать следующую минимальную инфор
мацию;
a) пик или обозначения области, например. Си KLL:
b
) обозначение оси абсцисс, например, кинетическая энергия Е (эВ);
c) метки на оси абсцисс, показывающие энергию как диапазон сканирования, например точки от 0
до 1200 эВ. или как энергию, соответствующую цене деления шкалы;
d) обозначение оси ординат, которое для спектров, зарегистрированных непосредственно, может
быть, например, числом отсчетов в секунду или числом отсчетов; для данных, полученных путем вы
числения производной dC/dE. где С — число отсчетов, обозначение оси ординат должно содержать
ссылку на то. применялась ли коррекция функции пропускания;
е) для спектров, зарегистрированных непосредственно, метки на оси ординат, показывающие ин
тенсивность как число отсчетов в секунду или число отсчетов на деление (см. примечание);
0 подробную информацию обо всех функциях обработки данных, примененных к необработан
ному спектру, таких как дифференцирование, сглаживание, коррекция функции передачи, удаление
резких выбросов.
Примечание — Для спектров, полученных путем вычисления производной, можно использовать метки
на оси. но сама ось номинально является безразмерной.
Дальнейшая информация может быть включена пожеланию аналитика или по просьбе заказчика.
Примеры спектров приведены в приложении А (см. рисунки А.1 — А.4).
5.4 Количественная информация
При обработке ОЭС данных и передаче их заказчику в виде количественных данных, следующая
информация о способе получения количественныхданных такжедолжна бытьдоступна заказчику, если
потребуется:
а)количественная модель, например, однородное твердое тело; однородное твердое тело, по
крытое слоем загрязнения; твердое тело, содержащее слои;
3