ГОСТ РИСО 16242—2016
У
450-
400-
По оси X отложено время (а секундах), по оси У отложено число отсчетов (источник С. Уайт
Национальный институт стандартов и технологии, США)
РисунокА.5 — Полученный с помощью ОЭС профиль распределения элементов по глубине в слое SiO^
использованном для калибровки скорости распыления ионами аргона.
Отсчеты взяты из высоты пиков в спектре, полученном путем дифференцирования
8