ГОСТ Р ИСО 16242—2016
Н А Ц И О Н А
Л
Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ХИМИЧЕСКИЙ АНА
Л
ИЗ ПОВЕРХНОСТИ
Оже-электронная спектроскопия.
Регистрация и представление данных
State system for insuring the uniformity of measurements
Surface chemical analysis.
Recording and reporting data inAuger electron spectroscopy (AES)
Дата введения — 2016—11—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает минимальный объем информации, которую необходимо
включать в протокол при проведении химического анализа поверхности и приповерхностных слоев ис
следуемого образца с помощью Оже-электронмой спектроскопии.
Настоящий стандарт применяют при проведении количественного и качественного анализа эле
ментного состава исследуемых образцов.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие международные стан
дарты (для недатированных ссылок следует применять последнее издание приведенных стандартов):
ИСО 17973 Химический анализ поверхности. Оже-электронные спектрометры умеренного разре
шения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа (ISO 17973. Surface chemical analy
sis — Medium-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of energy scales for elemental analysis)
ИСО 17974 Химический анализ поверхности. Оже-электронные спектрометры высокого разре
шения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа и анализа химического состояния
(ISO 17974. Surface chemical analysis — High-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of
energy scales for elemental and chemical-state analysis)
ИСО 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины,
используемые в спектроскопии (ISO 18115-1, Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General
terms and terms used in spectroscopy)
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ИСО 18115-1. а также следующие термины с со
ответствующими определениями:
3.1 ex situ (ex situ): Вне аналитической системы.
3.2 in situ (in situ): Внутри аналитической системы.
3.3 аналитик (analyst): Специалист, непосредственно проводящий анализ.
Издание официальное
1