ГОСТР ИСО 16242—2016
(.■ntii’N i trer**!
ter.
Н)1Я>ДО1«м*с4М«я»|
7)19* W" ft™* *-«» * *
РМД^Ы Н^«Ш *1*1.и1г1У1«< д№ -^ и|.а
1
‘Ж «М та
1
яс«
1
><с\»
««‘ Ц Ч в К И И Н *
Капсти: ( й«уу |«\>
1*«
1Ж0
Рисунок А. 6 — Монтаж спектров, показывающий профили распределения элементов по глубине,
полученные с помощью ОЭС издвуокиси кремния на кремнии для кислорода
(О KLL. спектры влевой части рисунка) и кремния {Si LVV. спектры в центре рисунка).
Каждый спектр Оже-электронов соответствует определенному значению координаты вглубь образца,
определяемому временем травления образца. Время травления указано в правой части рисунка
(изображение воспроизведено из «The CASA Cookbook» [6])
9