ГОСТ РИСО 16242—2016
РисунокА.7 — Карты, полученные с помощью ОЭС. и изображение,
полученное во вторичных электронах, записанные с вытравленного ионами кратера,
находящегося на краю канавки окисления вмногослойном образце GaAs/AlGaAs
(источник; С. Уайт. Национальный институт стандартов и технологий. США).
10