ГОСТ Р 8.659—2009
m s w -s .p .)!2}
I
___________
<_
(
2
)
S(/.)(n (о - 1)JV2
Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений
ОСЧ О0определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке).
Относительное суммарное СКО результатов измерения ОСЧ S. определяют по формуле
S£=(S
2
+
e
2
/
3
>
’«(
3
)
Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от
7 до 1100 нм не должно превышать 5 %.
Погрешность спектральной коррекции поверяемого СИ 0, в процентах, вызванную отклонением
относительной спектральной чувствительности S(>.) от стандартной SCI(X). определяют по формуле
О,
11001100
| <.(>.) S(>.)rf>. J{.e,(A )S 0T(/.)rf>.
I—-------------------1--------------------
41001100
f *.(>.) S c,(>.)tf>. JLCI(>.)
77
- 1|10Q
(
4
)
где L(>.)— относительная спектральная плотность энергетической яркости контрольных источников УФ
излучения;
La(к) — относительная спектральная плотность энергетической яркости стандартного источника УФ
излучения.
Для определения возможности применения поверяемого СИ при технологическом контроле в на
нофотолитографии установлен перечень контрольных истандартных источников излучения. Табулиро
ванные значения Ц’/.) и Lcr(>.) приведены в таблицах 2 — 7. Значение погрешности спектральной
коррекции чувствительности 0, СИ характеристик УФ излучения для каждого контрольного источника
должно быть не более 6 %.
Т а б л и ц а 2 — Значениядля стандартного источника синхротронного излучения при энергии 450 МэВ и
радиусе орбиты 1.0 мм
Длина волны, имДлина волны.нм<Л
а
>Длина волны.нм
9.823170
1027980
1368090
15975 100
18.51385110
201504120
251663130
301622140
351493150
401326160
451172180
501020200
607791225
601 250 36.9
471 275 29.1
375 300 23.5
302 350 15.9
249 400
11.1
206 500 6.38
173 600 3.33
146 700 2.67
124 800 1.89
106 900 1.38
81.4 1000 1.04
63.6 1100 0.82
47.8
Т а б л и ц а 3 — Значения ЦХ) для контрольного источника — ртутной лампы среднего давления
Длина волны, им
Ф->
Длина волны.им
Ф-)
Длина волны.ны
ЦМ
2005.55 10"2215
2058.19 10"2220
2101,04 10~’225
1.04 10"1 230
1.23-10 ’1 235
1.29-10 ’1240
1.18-10"’
1.02 10"’
8.64 10‘2
4