ГОСТ Р 8.659—2009
3 Операции поверки
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Т а б л и ц е 1
Наименование операции
Обязательность проведения
операций при поверке
Номер раздела,
подраздела,
пункта настоящего
стандарта
первичнойпериодической
Внешний осмотр8.1
♦
Опробование8.2
♦
Определение метрологических характеристик8.3+♦
Определение погрешности спектральной коррекции чувстви8.3.1-
тельности
Определение погрешности абсолютной чувствительности в
8.3.2
♦
диапазоне длин волн от 10 до 30 нм
Определение погрешности, возникающей из-за отклонения8.3.3+
-
коэффициента линейности от единицы. Определение границ ди
апазонов измерений энергетической яркости и силы излучения
Определение погрешности, возникающей из-за неидеальной8.3.4+■-
коррекции угловой зависимости чувствительности
Обработка результатов измерений9+
♦
4 Средства поверки
При проведении поверки применяют следующие средства поверки:
- установкудля измерений энергетической яркости и силы излучения в диапазонедлин волн от 10
до 30 нм в составе вторичного эталона спектральной плотности энергетической яркости (далее — ВЭТ
СПЭЯ) по ГОСТ 8.197. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее —
СКО) — не более 3 %;
- установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне
длин воли от 10до 30 нм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности
(далее — РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 3 %;
- установкудля измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ излуче
ния в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 4 %;
- установкудля измерений угловой зависимости чувствительности фотопреобразоеателей УФ из
лучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. включающую в себя гониометр. Относительное суммар
ное СКО — не более 5 %.
5 Требования кквалификации поверителей
Поверку должны проводитьлица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с ис
пользуемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию
на средства поверки и средства измерений.
6 Требования безопасности
При поверке СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитогра
фии должны бытьсоблюдены правила электробезопасности. Измерения должны проводитьдва опера
тора. аттестованных по группе электробезопасности не ниже III. прошедших инструктаж на рабочем
месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.
2