ГОСТ Р 8.659—2009
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet
radiation of technological testing of nanophotolltography. Venficatlon procedure
Дата введения — 2011—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиоле
тового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и уста
навливает методику их первичной и периодической поверок.
Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотоли
тографии обеспечивают измерения вдиапазоне длин волнот 10до 30 нм следующиххарактеристикУФ
излучателей:
- энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не бо
лее 103Вт/(м2■ср). верхняя — не менее 10е Вт/(м* •ср);
- силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более
10-3Вт/ср, верхняя — не менее 102Вт/ср.
Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в
нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N<?53
Международной комиссии по освещению (1).
Межповерочный интервал — не более одного года.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ8.197—2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости вдиапазоне
длин волн от 0,04 до 0.25 мкм
ГОСТ 8.207—76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения
с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ8.552—2001 Государственная системаобеспечения единства измерений. Государствениая
поверочная схемадля средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазо
не длин волн от 0,03 до 0,40 мкм
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты*, который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в ко
тором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
Издание официальное
1