ГОСТ Р 8.659—2009
7 Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающего воздуха — 20 X i 5 °С;
- относительная влажность воздуха — 65% i15% ;
- атмосферное давление — от 84 до 104 кПа;
- напряжение питающей сети — (220 ♦.4) В;
- частота питающей сети — (5011) Гц.
8 Подготовка и проведение поверки
Методика поверки СИ характеристикУФ излучения в нанофотолитографии включает в себя подго
товку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При
подготовке к поверке СИ необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по
эксплуатации.
8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре должны быть установлены:
- соответствие комплектности СИ паспортным данным:
- отсутствие механических повреждений блоков СИ. сохранность соединительных кабелей и сете
вых разъемов;
- четкость надписей на панели СИ;
- наличие маркировки (тип и заводской номер СИ);
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях СИ.
8.2 Опробование
При опробовании должны быть установлены:
- наличие показаний радиометра при освещении УФ излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы СИ.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности
Погрешность СИ. вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определя
ют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (да
лее — ОСЧ) поверяемого СИ от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального
диапазона 10 — 30 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого СИ сравнивают с
известной спектральной чувствительностью эталонного фотопреобразователя УФ излучения,
поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 7до 1100 нм. Измерения
относительной спектраль ной чувствительности поверяемого СИ УФ излучения проводят с
использованием источника синхро-тронного излучения, монохроматоров типов МДР-23. ВМР-2.
ДФС-29. комплекта светофильтров из кварца и фтористого магния, фотоприемников типов
AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений
относительной спектральной чувствительнос ти в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм эталонное и
поверяемое СИ поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом,
чтобы поток монохроматического излучения прохо дил в апертурную диафрагму. Показания
эталонного радиометра /°(Х) и поверяемого СИ / (X) регист рируют поочередно пять раз на
каждойдлине волны с шагом 1нм в диапазоне 7 — 30 нм, с шагом 5 нм в диапазоне 30 — 60 нм. с
шагом 10 нм в диапазоне 60 — 1100 нм. Затем за выходной щелью моно хроматора устанавливают
светофильтр и регистрируют показания эталонного J° (X)и поверяемого СИ J(X), соответствующие
рассеянному излучению в монохроматоре. Результат/-го измерения ОСЧ пове ряемого СИ S, (X)
рассчитывают по известным значениям ОСЧ S° (X) эталонного СИ и отношению зна чений
измеренных сигналов по формуле
S,(X) = S°(X)[//X)-Л Д Х М Л ^ -’Л (X)].(1)
Для каждойдлины волны определяют среднее значение ОСЧ S(X). Оценку относительного CKO S0
результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле
з