ГОСТ Р 8.659—2009
Т а б л и ц а 7 — Значения Ц).) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип IV
Длина волны, нм
ЦК)
Длина волны.нм
4-(>)
12.500.095
12.750.153
13.000.474
13.250.803
13.501.000
13.750.978
14.00
0.832
14.25
0.788
14.50
0.825
14.75
0.672
15.00
0.474
15.25
0.394
15.50
0.336
15.750.285
16.00
0.321
16.25
0.263
16.50
0.175
8.00 0.175
8.25 0,226
8.50 0,263
8.75 0.336
9.00 0.584
9.25 0.504
9.50 0.460
9.75 0.474
10.00 0.299
10,25 0.394
10.50 0,489
10.75 0,292
11.00 0.161
11,25 0,146
11.50 0.175
11.75 0.102
12.00 0.109
12,250.073
8.3.2Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диа
пазоне длин волн от 10 до 30 нм
Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин
волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонное и по
веряемое средство измерений энергетической яркости поочередно устанавливают на одинаковом рас
стоянии от излучателя и юстируют по углудля получения изображения излучающей области
источника. Показания эталонного средства измерений Г и поверяемого средства измерений /
регистрируют по очередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого сродства
измерений рассчи тывают по формуле
S =
S °I/r,
(5)
где S° — значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.
Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого СИ,
суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного СИ по формулам (1) — (3).
Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности 0* не должна превышать 6 %.
8.3.3Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейнос
ти сродства измерений от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической
яркости и силы излучения
Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности СИ от постоян
ного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного
излучения /,. соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указан
ной в паспорте поверяемого СИ, исоставляющий не более 103 Вт/(м2■ср). или силы излучения, состав
ляющий не более 10_3Вт/ср. Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого
СИ 12. Измерения проводятпять раз. Определяютсредние значения измеренных сигналов. CKO S0,сум
марное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности
« " ( /,♦ Д О /,(6)
и погрешность поверяемого СИ 03, вызванную нелинейностью чувствительности СИ.
©3= 100|*Г-1|.(7)
При определении границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверя
емого СИ ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости (силы
излучения) увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее
значение погрешности 03. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измере-
7