ГОСТ Р 8.659—2009
УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354ОКС 17.020Т84.10ОКСТУ 0008
Ключевые слова: энергетическая яркость, сила излучения, спектральная чувствительность, средства
измерений, ультрафиолетовое излучение, нанофотолитография, синхротромное излучение
и